研究発表 - 中野　誠彦

An On-Chip Ultra-Low-Power Hz-Range Ring Oscillator Based on Dynamic Leakage Suppression Logic

Jorge Cañada, Yui Yoshida, Hiroki Miura, Nobuhiko Nakano

[国際会議]  International Technical Conference on Circuits/Systems, Computers and Communications (ITC-CSCC 2020), 

2020年07月

Low-power High-Voltage Driver Based on Standard CMOS Technology for On-Chip Memory Recording

Jorge Cañada, Yui Yoshida, Takashi Tonomura, Hiroki Miura, Nobihiko Nakano

[国内会議]  電子回路研究会 （日本大学理工学部駿河台校舎タワー・スコラ） , 

2019年12月

, 

口頭発表（一般）, 電気学会

リングオシレータ用昇圧器付きクロスカップルチャージポンプ

三浦 大毅, 吉田 祐威, 外村 崇史, Jorge Canada, 中野 誠彦

[国内会議]  電子回路研究会, 

2019年12月

, 

口頭発表（一般）

A delta-sigma modulator with frequency division multiplexing for multi-channel EEG acquisition front-end

Mikawa M., Kawazoe S., Fukuoka R., Nakano N. 

[国際会議]  2019 26th IEEE International Conference on Electronics, Circuits and Systems, ICECS 2019, 

2019年11月

, 

ポスター発表

Frequency Adjustable On-Chip Notch Filter to Eliminate Hum Noise for EEG Acquisition

Ryuto Fukuoka, Syohei Kawazoe,Mikiyoshi Mikawa, and Nobuhiko Nakano

[国際会議]  2019 International Conference on Analog VLSI Circuits （Yilan, Taiwan） , 

2019年10月

, 

口頭発表（一般）

Evaluation of p-Type 4H-SiC Piezoresistance Coefficients in (0001) Plane Using Numerical Simulation

Takaya Sugiura, Naoki Takahashi, Nobuhiko Nakano

[国際会議]  International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2019, 

2019年09月

, 

ポスター発表

Evaluations of TOPCon Solar Cell Rear Structure on Numerical Simulation

Takaya Sugiura, Satoru Matsumoto, Nobuhiko Nakano

[国際会議]  2019 International Conference on Solid State Devices and Materials （Nagoya, Japan） , 

2019年09月

, 

ポスター発表

Thermal stress directions and stress mechanism in Ag sintered bonding layer under thermal cycling test for Si power device structures having sintering chip-attachment

Masaaki Aoki1,2, Koki Chinone1 , Akihiro Mochizuki2 , Yoshio Murakami2 , Mutsuharu Tsunoda2 , Goro Yoshinari2 , Nobuhiko Nakano

[国際会議]  Twenty-first YUCOMAT 2019 & Eleventh WRTCS 2019 （Herceg Novi, Montenegro） , 

2019年09月

, 

口頭発表（一般）, Materials Research Society of Serbia

Thermal stress directions and stress mechanism in Si chip under thermal cycling test for power device structures having sintering chip-attachment

Koki Chinone, Masaaki Aoki, Akihiro Mochizuki, Yoshio Murakami, Mutsuharu Tsunoda, Goro Yoshinari and Nobuhiko Nakano

[国際会議]  Twenty-first YUCOMAT 2019 & Eleventh WRTCS 2019 （Herceg Novi, Montenegro） , 

2019年09月

, 

口頭発表（一般）, Materials Research Society of Serbia

An On-Chip Sub-pW Hz-Range Ring Oscillator

Jorge Canada,Nobuhiko Nakano

[国際会議]  2019 Taiwan and Japan Conference on Circuits and Systems, 

2019年08月

, 

ポスター発表

デバイスシミュレーションを用いた p型4H-SiCの ピエゾ抵抗係数の検証

高橋直暉,杉浦隆弥,中野 誠彦

[国内会議]  第2回　サステナブルコンピューティング特別研究会 （慶應義塾大学日吉キャンパス） , 

2019年08月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会

オンチップメモリ書き込み用自己発振DC-DCコンバータ

外村 崇史,吉田祐威,中野 誠彦

[国内会議]  第2回　サステナブルコンピューティング特別研究会 （慶應義塾大学日吉キャンパス） , 

2019年08月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会

Collisions and Impacts in Semiconductor Device

Nobuhiko Nakano

[国際会議]  POSMOL 2019 Workshop on Non-Equilibrium Processes （Belgrade, Serbia） , 

2019年07月

, 

口頭発表（招待・特別）

脳波取得用電圧時間変換回路解像度に関する考察

八木健太,三河樹由,河添翔平,福岡龍人,中野 誠彦

[国内会議]  ICD夏の合宿 （鹿児島県、屋久島） , 

2019年07月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

An FDM Technique for EEG Acquisition System

Mikiyoshi Mikawa , Shohei Kawazoe, Ryuto Fukuoka, Nobuhiko Nakano

[国際会議]  KAIST-KEIO-TSINGHUA Workshop （KEIO YAGAMI-HIYOSHI campus） , 

2019年05月

, 

口頭発表（一般）

Comparison of Driving Methods for 4-phase Cross-Coupled Charge Pump

Yui Yoshida, Takahumi Tonomura, Nobuhiko Nakano

[国際会議]  KAIST-KEIO-TSINGHUA Workshop （KEIO YAGAMI-HIYOSHI campus） , 

2019年05月

, 

ポスター発表

脳波取得フロントエンドにおけるシステムレベル周波数多重化

三河樹由,河添翔平,福岡龍人,中野誠彦

[国内会議]  LSIとシステムのワークショップ２０１９, 

2019年05月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

クロスカップルチャージポンプにおける駆動方式の検

吉田祐威,外村崇史,中野誠彦

[国内会議]  LSIとシステムのワークショップ２０１９, 

2019年05月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

A microsystem design using standard CMOS technology with on-chip solar cell

Nobuhiko Nakano

[国際会議]  Conference on Circuits and Systems(CANDAR 2019) Sustainable Computing Systems Workshop, 

2018年11月

, 

口頭発表（招待・特別）

A Low Noise Analog Front-end Design with an N-path Filter for Dry EEG Recording

Takumi Deguchi, Ryoya Tanaka, Shohei Kawazoe, Ryuto Fukuoka,Nobuhiko Nakano

[国際会議]  The 2018 International Symposium on Intelligent Signal Processing and Communication Systems, 

2018年11月

, 

口頭発表（一般）

On-chip antifuse memory recording using charge pump DC-DC boost converter

Takafumi Tonomura, Daigo Zenibayashi, Nobuhiko Nakano

[国際会議]  2018 International Conference on Analog VLSI Circuits （Chiang Mai, Thailand） , 

2018年10月

, 

口頭発表（一般）

標準CMOSプロセスを用いたマイクロシステム用太陽電池の設計

銭林大悟,杉浦 隆,中野 誠彦

[国内会議]  第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム （北海道,札幌市民交流プラザ） , 

2018年10月

, 

ポスター発表

ハムノイズ除去用 N-pathフィルタシステムにおける 除去周波数安定化

田中 稜也,出口 卓己,中野 誠彦

[国内会議]  電気学会部門大会, 

2018年09月

, 

口頭発表（一般）

0.18mプロセスによる脳波測定用チョッパ増幅器の設計

福岡 龍人,田中 稜也,出口 卓己,河添 翔平,中野 誠彦

[国内会議]  第1回　サステナブルコンピューティング特別研究会 （東洋大学赤羽台キャンパス） , 

2018年08月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

EEG取得のためのオンチップN-pathフィルタ

出口卓己,田中稜也,河添翔平,福岡龍人,中野 誠彦

[国内会議]  ICD夏の合宿 （長野県、かんぽの宿諏訪） , 

2018年07月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

EEG取得システム用PGAの多重化検討

河添翔平,田中稜也,出口卓己,福岡龍人,中野 誠彦

[国内会議]  ICD夏の合宿 （長野県、かんぽの宿諏訪） , 

2018年07月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

ドライ電極を用いた脳波測定用チョッパ増幅器の検討

福岡龍人, 出口卓己, 田中稜也, 河添翔平,中野 誠彦

[国内会議]  ICD夏の合宿 （長野県、かんぽの宿諏訪） , 

2018年07月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

GaNデバイス誘導負荷スイッチング試験における寄生素子が与える影響

貴納昌瑛,中野 誠彦

[国内会議]  ICD夏の合宿 （長野県、かんぽの宿諏訪） , 

2018年07月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

Warpage and thermal stress under thermal cycling test in SiC and Si power device structures using direct chip-bonding with Ag sintered layer on Cu plate

Masaki Kanemoto, Masaaki Aoki, Akihiro Mochizuki, Yoshio Murakami, Mutsuharu Tsunoda, and Nobuhiko Nakano

[国際会議]  IEEE Electronic Components and Technology Conference （San Diego, USA） , 

2018年05月

, 

口頭発表（一般）, IEEE

脳波取得システム用可変利得増幅器

河添翔平,田中稜也,出口卓己,福岡龍人,中野 誠彦

[国内会議]  LSIとシステムのワークショップ２０１８, 

2018年05月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

オンチップ脳波取得システム用可変利増幅器

河添翔平,田中稜也,出口卓己,福岡龍人,中野誠彦

[国内会議]  LSIとシステムのワークショップ２０１８, 

2018年05月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

PERC型太陽電池の性能向上を目指したTCADシミュレーション

杉浦隆弥, 松本智, 中野 誠彦

[国内会議]  第65回応用物理学会春季学術講演会 （早稲田大学） , 

2018年03月

, 

口頭発表（一般）, 応用物理学会

Comparison of Thermal Stress under TCT between SiC and Si Power Devices using Direct Chip-Bonding with Ag Sintered Layer on Cu Plate

Masaki Kanemoto, Masaaki Aoki, Akihiro Mochizuki, Yoshio Murakami, Mutsuharu Tsunoda, Goro Yoshinari,(/)-RNAKANO NOBUHIKO

[国際会議]  IEEE ELECTRICAL DESIGN OF ADVANCED PACKAGING AND SYSTEMS SYMPOSIUM （杭州、中国） , 

2017年12月

, 

口頭発表（一般）, IEEE

誘導負荷スイッチングシミュレーションによるGaNデバイスにおける逆回復現象の検討

谷島琢磨, 貴納昌瑛,中野 誠彦

[国内会議]  第14回　再生可能集積システム時限研究 （山梨大学甲府キャンパス） , 

2017年11月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会

Performance Improvements of On-Chip Solar Cell for Microsystem

Daigo Zenibayashi, Takaya Sugiura, NAKANO NOBUHIKO

[国際会議]  International Symposium on Electronics and Smart Devices （Jogjakarta, Indonesia） , 

2017年10月

, 

口頭発表（一般）

Prototype and Measurement of Automatic Synchronous PLL System for N-path Filter for Hum Noise Reduction

Ryouya Tanaka, Takumi Deguchi, NAKANO NOBUHIKO

[国際会議]  International Symposium on Electronics and Smart Devices （Jogjakarta, Indonesia） , 

2017年10月

, 

口頭発表（一般）

マイクロシステム実現に向けたオンチップ送信回路の検討

五十嵐 一真, 銭林 大悟, 中野 誠 中野誠彦

[国内会議]  第４７回集積回路技術リテラシー研究会 （東京工業大学 すずかけ台キャンパス） , 

2017年10月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会

大学での工学教育における現場の課題

中野 誠彦

[国内会議]  第3回　臨床工学技士養成教員学術研究会, 

2017年09月

, 

口頭発表（一般）

LTspiceを用いたパワーデバイスに対する誘導負荷スイッチング試験シミュレーション

谷島琢磨、 中野誠彦

[国内会議]  第４６回集積回路技術リテラシー研究会 （グリーンビュー立山 （〒930-1405 富山県中新川郡立山町千寿ケ原）） , 

2017年08月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

生体電位測定システムにおける オフチップキャパシタの容量電圧依存性の評価

伊藤孝太、田中稜也、出口卓己、河添翔平、福岡龍人、 中野誠彦

[国内会議]  第４６回集積回路技術リテラシー研究会 （グリーンビュー立山 （〒930-1405 富山県中新川郡立山町千寿ケ原）） , 

2017年08月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

低電圧用チャージポンプDC-DC コンバータの性能検討

中野 誠彦

[国内会議]  電子回路研究会 （神戸大学　梅田インテリジェントラボラトリ・イベント） , 

2017年08月

, 

口頭発表（一般）, 電気学会

ドライ電極を用いた脳波測定用チョッパ増幅器の検討

福岡龍人,出口卓己,田中稜也,河添翔平,中野誠彦

[国内会議]  ICD夏の合宿, 

2017年07月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

ハムノイズ除去用 N-path フィルタのため自動同期 PLL

出口卓己, 田中稜也, 伊藤孝太,中野 誠彦

[国内会議]  LSIとシステムワークショップ２０１７, 

2017年05月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

太陽電池分割方式によるオンチップ環境発電機の高効率化

銭林大悟,杉浦 隆弥,中野 誠彦

[国内会議]  LSIとシステムワークショップ２０１７, 

2017年05月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

Thermal Stress Analysis under Thermal Cycling Test for SiC Power Device Heat Dissipation Structures using Ag Sintered LayerDissipation Structures using Ag Sintering Chip-attachment

中野 誠彦

[国際会議]  2017 International Conference on Electronics Packaging （Takinoyu Hotel, Tendo, Yamagata） , 

2017年04月

, 

ポスター発表, The Japan Institute of Electronics Packaging

Design of Emitter Doping Profile and Junction depth in Si Solar Cells

中野 誠彦

[国際会議]  The 7th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials, 

2016年11月

, 

ポスター発表, 11/21-25

Si太陽電池のエミッタ最適化による発電効率向上のシミュレーション

杉浦隆弥,松本智,中野 誠彦

[国内会議]  第14回　再生可能集積システム時限研究 （慶應大学　日吉キャンパス　来往舎　小会議室） , 

2016年10月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会

LSIパッチクランプシステムの周波数特性評価用微小電流パルス回路

高坂 太郎 , 久保 勝弘, 宮脇 貴統, 伊藤 孝太,中野 誠彦

[国内会議]  第14回　再生可能集積システム時限研究 （慶應大学　日吉キャンパス　来往舎　小会議室） , 

2016年10月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

Area-efficient Cross-Coupled Charge Pump for On-chip Solar Cell

Yoshimasa Minami, Kazuma Igarashi, Takaya Sugiura, NAKANO NOBUHIKO

[国際会議]  The 2016 International Symposium on Intelligent Signal Processing and Communication Systems, 

2016年10月

, 

口頭発表（一般）

Variable Frequency Characteristics Multi-Channel On-Chip Patch-Clamp System Using 0.18 μ m CMOS Technology

Masahiro Kubo,Taro Kosaka, Takanori Miyawaki, Kota Ito, NAKANO NOBUHIKO

[国際会議]  The 2016 International Symposium on Intelligent Signal Processing and Communication Systems, 

2016年10月

, 

口頭発表（一般）

標準CMOSプロセスによる波長選択太陽電池

五十嵐 一真，銭林 大悟, 中野誠彦

[国内会議]  第４４回アナログRF研究会, 

2016年09月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

微小信号増幅器評価向け低雑音電源装置の試作と評価

伊藤 孝太,高坂 太郎,田中 稜也,出口 卓己, 中野誠彦

[国内会議]  第４４回アナログRF研究会, 

2016年09月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会

Crosstalk evaluation of multi-channel on-chip patch-clamp system

Takanori MIyawaki, Taro Kosaka, Masahiro Kubo, NAKANO NOBUHIKO

[国際会議]  KAIST-KEIO-TSINGHUA Workshop （KEIO YAGAMI-HIYOSHI campus） , 

2016年08月

, 

口頭発表（一般）

GaNデバイスにおける 電圧依存性容量モデルの検討

谷島 琢磨, 中野 誠彦

[国内会議]  応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第193回研究集会, 

2016年07月

, 

口頭発表（一般）

On-Chip Nonvolatile Memory for Standalone System using 0.18 μm Standard CMOS Technology

中野 誠彦

[国際会議]  Collaborative Conference on 3D Research 2016 （Incheon, Korea） , 

2016年06月

, 

口頭発表（招待・特別）

Stress concentration and profile under thermal cycling test in power device heat dissipation structures using double-side chip bonding with Ag sintered layer on Cu plate

中野 誠彦

[国際会議]  IEEE Electronic Components and Technology Conference, 

2016年05月

, 

口頭発表（一般）

太陽電池分割方式によるオンチップ環境発電機の高効率化

五十嵐 一真,南 快優,杉浦 隆弥,中野 誠彦

[国内会議]  LSIとシステムワークショップ２０１６, 

2016年05月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

Comparison of Thermal Stress Concentration and Profile between Power Cycling Test and Thermal Cycling Test for Power Device Heat Dissipation Structures using Ag Sintering Chip-attachment

中野 誠彦

[国際会議]  2016 International Conference on Electronics Packaging （Sapporo Education and Culture Hall） , 

2016年04月

, 

ポスター発表, The Japan Institute of Electronics Packaging

生体信号取得用ハム雑音除去ノッチフィルタ

宮脇貴統、四ツ田大樹、高坂太郎, 中野誠彦

[国内会議]  第４３回アナログRF研究会, 

2016年03月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会

A Design of On-Chip Power Supply System with Intermittent Operation for Stand-Alone Chip

Atsushi Watanabe, Daichi Orihara, Yoshimasa Minami and Nobuhiko Nakano

[国際会議]  The 1st RIS-MJIIT Workshop on Renewable and Sustainable Integrated Systems 2015 （Malaysia-Japan International Institute of Technology, University Teknologi Malaysia, Kuala Lumpur, Malaysia） , 

2015年12月

, 

口頭発表（一般）

On-Chip Nonvolatile Memory Using Standard CMOS Technology for Microsystem

Daichi Orihara, Atsushi Watanabe, Yoshimasa Minami and Nobuhiko Nakano

[国際会議]  The 1st RIS-MJIIT Workshop on Renewable and Sustainable Integrated Systems 2015 （Malaysia-Japan International Institute of Technology, University Teknologi Malaysia, Kuala Lumpur, Malaysia） , 

2015年12月

, 

口頭発表（一般）

微小信号増幅器評価における電源雑音に関する考察

伊藤孝太, 四ツ田大樹, 久保勝弘, 高坂太郎, 宮脇貴統, 中野誠彦

[国内会議]  第４２回　アナログRF研究会, 

2015年11月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会

A Design of Transimpedance Amplifier Using OTA as a Feedback Resistor for Patch-Clamp Measurement System

Masahiro Kubo, Hiroki Yotsuda, Taro Kosaka, NAKANO NOBUHIKO

[国際会議]  The 2015 International Symposium on Intelligent Signal Processing and Communication Systems, 

2015年11月

, 

口頭発表（一般）

A Fully Integrated Boost Power Supply with On-Chip Photovoltaic Device

A.Watanabe, D.Orihara, Y.Minami and N.Nakano

[国際会議]  Solid State Devices and Materials (2015) （Sapporo convention center） , 

2015年09月

, 

ポスター発表

A design of multi channel neural recording low-noise low-power amplifier

NAKANO NOBUHIKO

[国際会議]  The 6th International Conference on Integrated Circuits, Design, and Verification （Vietnam, Ho Chi Min） , 

2015年08月

, 

口頭発表（招待・特別）, IEICE ICD

A Bootstrap Charge Pump Using Multi Capacitors to Operate in Subthreshold Region

Yoshimasa Minami, Astushi Watanabe, Daichi Orihara, NAKANO NOBUHIKO

[国際会議]  The 6th International Conference on Integrated Circuits, Design, and Verification （Vietnam, Ho Chi Min） , 

2015年08月

, 

口頭発表（一般）, IEICE ICD

Parasitic capacitance compensation circuit for the Patch clamp system using 0.18μm CMOS technology

高坂太郎、中野 誠彦

[国際会議]  KAIST-KEIO-TSINGHUA Workshop （KEIO YAGAMI-HIYOSHI campus） , 

2015年08月

, 

口頭発表（一般）

マイクロシステム用オンチップ光起電力デバイスおよび出力調整DCDCコンバータの設計

五十嵐一真、伊藤孝太、 渡邊淳史、南快優、中野誠彦

[国内会議]  第４１回　アナログRF研究会, 

2015年07月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会

マイクロシステム用オンチップメモリの検討

折原大地、渡邊淳史、南快優、中野誠彦

[国内会議]  第４０回　アナログRF研究会, 

2015年06月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会

オンチップパッチクランプシステム用寄生容量補償回路

高坂太郎、四ツ田大樹、久保勝弘、中野 誠彦

[国内会議]  LSIとシステムワークショップ２０１５, 

2015年05月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

Stress and strain analysis using multi-physics solver for power device heat dissipation structures under thermal cycling test

Takahiro Asai, Masaaki Aoki, Akihiro Mochizuki, Takamitsu Honjo, Hitoshi Kida, Goro Yoshinari, NAKANO NOBUHIKO

[国際会議]  2015 International Conference on Electronic Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IACC) （Kyoto, Japan） , 

2015年04月

, 

ポスター発表

マイクロシステム送信器のためのオンチップアンテナの検討

渡邉淳史、小野、中野誠彦

[国内会議]  第３８回　アナログRF研究会, 

2015年03月

, 

口頭発表（一般）

自律型マイクロシステム用オンチップ電源システム

小野,渡邉淳史,中野 誠彦

[国内会議]  STARCシンポジウム, 

2015年01月

, 

ポスター発表, 半導体理工学研究センター

A Design of I-V Converter for Measurement of Ion Current in Analyzing Lipid Bilayer Membrane

H. Yotsuda, T. Kawashima, NAKANO NOBUHIKO

[国際会議]  2014 International Conference on Analog VLSI Circuits （Vietnam） , 

2014年10月

, 

口頭発表（一般）

ブレインマシンインタフェース実現に向けた生体信号取得LSI設計

中野 誠彦

[国内会議]  第27回　回路とシステムワークショップ, 

2014年08月

, 

口頭発表（招待・特別）, 電子情報通信学会

微小電流測定用オンチップI-Vコンバータ

川島拓也、四ツ田大樹、中野誠彦

[国内会議]  第３６回　アナログRF研究会 （鹿児島県屋久島） , 

2014年07月

, 

ポスター発表

生体信号取得のためのLSI設計

中野 誠彦

[国内会議]  首都大学東京ミニ研究環, 

2014年03月

, 

口頭発表（招待・特別）, 首都大学東京

0.18μmCMOSプロセスによるマイクロシステム送信器用900MHz発振器

渡邊淳史 小野東輝 野村一樹 中野誠彦

[国内会議]  第３５回　アナログRF研究会 （中央大学 後楽園校舎） , 

2014年03月

, 

口頭発表（一般）

LSIパッチクランプシステム用可変利得増幅回路の設計

四ツ田大樹、安田陽平、中山渉、川島拓也、中野誠彦

[国内会議]  第３５回　アナログRF研究会 （中央大学 後楽園校舎） , 

2014年03月

, 

口頭発表（一般）

A Design of On-Chip Photovoltaic Device and Regulated DC-DC Converter for Micro System

中野 誠彦

[国際会議]  The 18th Workshop on Synthesis And System Integration of Mixed Information technologies （Sapporo） , 

2013年10月

, 

ポスター発表

パッチクランプ用CMOSオンチップIVコンバータの特性評価

川島拓也、中山渉、安田陽平、中野 誠彦

[国内会議]  第8回　再生可能集積システム時限研究会 （電気通信大学　調布キャンパス） , 

2013年10月

, 

口頭発表（一般）

LSI Design for Patch Clamp Measurement Using 0.18μm CMOS Process

中野 誠彦

[国際会議]  2013 International Conference on Analog VLSI Circuits （Montreal CANADA） , 

2013年10月

, 

口頭発表（一般）

A design of CMOS LSI for bio-sensing and brain machine interface

中野 誠彦

[国際会議]  Collaborative Conference on 3D Research （Jeju, Korea） , 

2013年06月

, 

口頭発表（招待・特別）

マイクロシステム用オンチップ太陽電池とレギュレータ付きDC-DCコンバータ電源回路の設計

小野 東輝,野村 一樹,中野 誠彦

[国内会議]  LSI とシステムのワークショップ2013 （北九州国際会議場） , 

2013年05月

, 

ポスター発表

パッチクランプ測定システムのLSI化に向けた回路試作

川島拓也,中山　渉,安田陽平,大野隆一,,○中野 誠彦

[国内会議]  電子回路研究会 （明治大学　駿河台キャンパス） , 

2013年03月

, 

口頭発表（一般）

0.18μmCMOSプロセスを用いたマイクロシステム用オンチップ太陽電池とレギュレータ付きDC-DCコンバータ設計

小野東輝,菊地大樹,野村一樹,中野 誠彦

[国内会議]  集積回路研究会　学生・若手研究会 （東工大蔵前会館 ロイアルブルーホール） , 

2012年12月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

0.18μmCMOSプロセスを用いたパッチクランプ測定システムの設計

中山渉,大野隆一,安田陽平,川島拓也,中野 誠彦

[国内会議]  集積回路研究会　学生・若手研究会 （東工大　蔵前会館 ロイアルブルーホール） , 

2012年12月

, 

ポスター発表, 電子情報通信学会

A Design of Photovoltaic Power Supply for Stand-Alone Microsystem Using Standard CMOS Technology

中野 誠彦

[国際会議]  2012 International Conference on Analog VLSI Circuits （Valencia Spain） , 

2012年10月

, 

口頭発表（一般）

0.18μmCMOSプロセスを用いたマルチモード生体信号増幅回路の設計

安田 陽平,中野 誠彦

[国内会議]  第29回 シリコンアナログRF研究会 （慶応義塾大学日吉キャンパス） , 

2012年05月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会 集積回路研究専門委員会

単チップ動作マイクロシステム用オンチップ太陽電池の試作

菊地 大樹, 野村 一樹, 中野 誠彦

[国内会議]  第28回 シリコンアナログRF研究会 （中央大学 後楽園キャンパス） , 

2012年03月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会 集積回路研究専門委員会

A Design of 2GHz Band O-QPSK Wireless Transmitter using 0.18 μmCMOS Technology,” The 17th Workshop on Synthesis And System Integration of Mixed Information technologies

中野 誠彦

[国際会議]  The 17th Workshop on Synthesis And System Integration of Mixed Information technologies （Oita, Japan） , 

2012年03月

, 

ポスター発表

The custom CMOS LSI design of a multi-channel headstage amplifier for a brain-machine interface

中野 誠彦

[国際会議]  Neuroscience 2011 （Washington D.C, USA） , 

2011年11月

, 

ポスター発表

CMOS LSI for excitation and measurement of neural activity with microelectrode array

中野 誠彦

[国際会議]  Solid State Devices and Materials (2011) （Aichi） , 

2011年09月

, 

口頭発表（招待・特別）

0.18μmCMOSテクノロジを用いた1GHz帯オフセットQPSK無線送信機の設計および検討

三谷 勇貴, 月田 健太郎, 中野 誠彦

[国内会議]  第25回 シリコンアナログRF研究会 （北九州国際会議場） , 

2011年05月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会 集積回路研究専門委員会

バイオマシンインターフェスの研究

中野誠彦，島田明佳

第7回慶應義塾先端科学技術シンポジウム, 

2011年02月

, 

シンポジウム・ワークショップ パネル（公募）

無線通信用1GHz帯オフセットQPSK変調器の設計

月田 健太郎, 三谷 勇貴,中野 誠彦

[国内会議]  第24回 シリコンアナログRF研究会 （東京工業大学 大岡山キャンパス） , 

2010年11月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会 集積回路研究専門委員会

Custom LSI chip design for bio sensing and stimulation using 0.18μm CMOS technology

中野 誠彦

[国際会議]  6th KAIST-KEIO-TSINGHUA Workshop （KEIO YAGAMI-HIYOSHI campus） , 

2010年07月

, 

口頭発表（招待・特別）

多チャンネル神経細胞活動電位計測および刺激印加用LSIチップの設計

中野 誠彦

[国内会議]  文部科学省「脳科学研究戦略推進プログラム」第一回分科会 （北海道、札幌市） , 

2010年07月

, 

口頭発表（招待・特別）

Multi-channel bio sensing and Stimulation LSI Chip Using 0.18 µm CMOS process

中野 誠彦

[国際会議]  Solid State Devices and Materials (2009) （Sendai） , 

2009年10月

, 

ポスター発表

A design of CMOS LSI for multisite stimulation and the measurement with microelectrode array

Masaya Ymaguchi, Takayuki Iwata, Akiyoshi Shimada, Nahoko Kasai, Keiichi Torimitsu, and Nobuhiko Nakano

[国際会議]  Neuroscience 2009 （Chicago, USA） , 

2009年10月

, 

ポスター発表, Society for Neuroscience

Multisite stimulation and sensing by custom LSI chip using CMOS technology and microelectrode array

N. Nakano, M. Yamaguchi, A. Shimada, K.Torimitsu

[国際会議]  Yucomat 2009 （Herceg Novi, Montenegro） , 

2009年09月

, 

口頭発表（招待・特別）

ガードリング形状を有した基板コンタクト間の2ポートSパラメータ測定

豊丸 弘爾，中野 誠彦

[国内会議]  第19回 シリコンアナログRF研究会 （中央大学 後楽園キャンパス） , 

2009年03月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会 集積回路研究専門委員会

A Design of Active Decoupling Circuit for the Substrate Noise Reduction on a Mixed Signal LSI

Daisuke Satoh, and Nobuhiko Nakano

[国際会議]  Proc. Synthesis and System Integration of Mixed Information Technologies （Okinawa） , 

2009年03月

, 

ポスター発表

Si基板上コンタクト間Sパラメータ評価

豊丸 弘爾，中野 誠彦

[国内会議]  第18回 シリコンアナログRF研究会 （鹿児島大学 郡元キャンパス） , 

2008年12月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会 集積回路研究専門委員会

LSI chip for multisite stimulation and measurement

Akiyoshi Shimada, Yusuke Yokoyama, Masaya Ymaguchi, Nobuhiko Nakano, Nahoko Kasai, and Keiichi Torimitsu

[国際会議]  Neuroscience 2008 （Washington D.C., USA） , 

2008年10月

, 

ポスター発表, Society for Neuroscience

Multisite stimulation pattern for a higher density microelectrode array

中野 誠彦

[国際会議]  Abstracts of the 31st Annual Meeting of the Japan Neuroscience Society (Neuro 2008) （Tokyo, Japan） , 

2008年07月

, 

ポスター発表

基板モデル化のための2ポートコンタクト間Sパラメータ測定

豊丸弘爾，中野 誠彦

[国内会議]  第16回 シリコンアナログRF研究会 （芝浦工業大学 豊洲キャンパス） , 

2008年05月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会 集積回路研究専門委員会

基板ノイズ低減を目的としたアクティブデカップリング回路の検討

佐藤大祐、 中野 誠彦

[国内会議]  第14回 シリコンアナログRF研究会 （東京大学柏キャンパス） , 

2007年11月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会 集積回路研究専門委員会

Localized Stimulation for Multi-Microelectrode Array:Finite Element Modeling of Electric Potential Distribution

Akiyoshi Shimada, Jonas Rundqvist, Nahoko Kasai, Masayuki Wada, Nobuhiko Nakano and Keiichi Torimitsu

[国際会議]  Neuroscience 2007 （Sandiego, USA） , 

2007年11月

, 

ポスター発表, Society for Neuroscience

リングオシレータのジッタ解析を用いたノイズの評価

樋口 大輔，森本 一毅 中野 誠彦

[国内会議]  第12回 シリコンアナログRF研究会 （群馬大学 桐生キャンパス） , 

2007年06月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会 集積回路研究専門委員会

Double Gate MOSFET Model Using Combination of Single Gate MOSFETs

Akifumi Maru, Hirotaka Yamazaki and Nobuhiko Nakano

[国際会議]  4th International Workshop on Compact Modeling （Yokohama） , 

2007年01月

, 

口頭発表（一般）

インバータチェインを用いた基板ノイズ評価用テストチップにおけるノイズ波形計測と測定系の評価

森本 一毅, 西山 茂樹, 樋口 大輔, 中野 誠彦

[国内会議]  第7回 シリコンアナログRF研究会 （慶應大学 矢上キャンパス） , 

2006年02月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会 集積回路研究専門委員会

0.35μm CMOSプロセスによる基板ノイズ評価テストチップ設計とノイズ波形の計測

西山 茂樹, 和田 雅行, 樋口 大輔, 森本 一毅, 中野 誠彦

[国内会議]  第５回 シリコンアナログRF研究会 （東京工業大学 大岡山キャンパス） , 

2005年08月

, 

口頭発表（一般）, 電子情報通信学会 集積回路研究専門委員会

Realization of digital noize emulator for chacterization of systems exposed to substrate noise

中野 誠彦

[国際会議]  Proc. Synthesis and System Integration of Mixed Information Technologies （Kanazawa） , 

2004年10月

, 

ポスター発表

Efficient Techniques for Reducing Complexity of Substrate Models in Mixed-Signal Ic's

中野 誠彦

[国際会議]  Proc. Synthesis and System Integration of Mixed Information Technologies （Hiroshima） , 

2003年04月

, 

ポスター発表

Relaxation of electrons ejected from high voltage tip to gas phase

A.Kawai, J.Matui, N.Nakano, Z.Lj.Petrovic, T.Makabe

[国際会議]  53rd Annual Gaseous Electronics Conference, （(24-27 October 2000,Houston,USA)） , 

2000年10月

, 

ポスター発表

Decoupling characteristics of different frequency power supply for dual frequencycapacitive coupling plasma reactor

中野 誠彦

[国際会議]  53rd Annual Gaseous Electronnics Conference, （(24-27 October 2000,Houston,USA)） , 

2000年10月

, 

口頭発表（一般）

2D-t modeling of pulsed 2f-CCP in CF_4_(5%)/Ar for oxide etching

G.Washio, K.Maeshige, N.Nakano, T.Makabe

[国際会議]  53rd Annual Gaseous Electronics Conference, （(24-27 October 2000,Houston,USA)） , 

2000年10月

, 

口頭発表（一般）

Transport of particle sputtered from Si and SiO_2 in oxide etching in CCP

K. Maeshige, N. Nakano, T. Makabe

[国際会議]  52th Annual Gaseous Electronics Conference （(5-8 October 1999,Norfolk, USA)） , 

1999年10月

, 

ポスター発表

Simulation of Time Modulated Dual Frequency Capacitively-Coupled Plasmas

Nobuhiko Nakano, T. Makabe

[国際会議]  52th Annual Gaseous Electronics Conference （(5-8 October 1999,Norfolk, USA)） , 

1999年10月

, 

口頭発表（一般）

Effect of electron and ion transport on the charge build-up of a microscopic structure exposed to plasma

J. Matsui,T. Makabe, N. Nakano

[国際会議]  52th Annual Gaseous Electronics Conference （(5-8 October 1999,Norfolk, USA)） , 

1999年10月

, 

口頭発表（一般）

Three dimensional profiles of a pulsed inductively coupled plasma in Ar and CF_4/Ar

K. Hioki, N. Itazu, N. Nakano, T. Makabe

[国際会議]  52th Annual Gaseous Electronics Conference （(5-8 October 1999,Norfolk, USA)） , 

1999年10月

, 

ポスター発表

Modeling of time modulated dual frequency capacitively coupled plasma

Nobuhiko Nakano and Toshiaki Makabe

[国際会議]  14th International symposium on Plasma Chemistry （Prague, Czech Republic） , 

1999年08月

, 

口頭発表（一般）

2D images of two frequency capacitively coupled plasmas at VHF

T. Kitajima, Y. Takeo, N. Nakano, T. Makabe

[国際会議]  51th Annual Gaseous Electronics Conference, and 4th International Conference on Reactive Plasmas, 

1998年10月

, 

(19-22 October 1998, Maui, USA)

Two dimensional profiles of a pulsed capacitively coupled plasma

Y. Takeo, T. Kitajima, N. Nakano, T. Makabe

[国際会議]  51th Annual Gaseous Electronics Conference, and 4th International Conference on Reactive Plasmas, 

1998年10月

, 

(19-22 October 1998, Maui, USA)

2D Selfconsistent Simulation of a DC magnetron Discharge and Its Target Erosion Profile

K. Okazawa, N. Nakano, T. Makabe, E. Shidoji

[国際会議]  51th Annual Gaseous Electronics Conference, and 4th International Conference on Reactive Plasmas, 

1998年10月

, 

(19-22 October 1998, Maui, USA)

Dependence of driving frequency on capacitively coupled plasma in CF4

S.Segawa, M.Kurihara, Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe

[国際会議]  51th Annual Gaseous Electronics Conference, and 4th International Conference on Reactive Plasmas, 

1998年10月

, 

(19-22 October 1998, Maui, USA)

RF plasma characteristics in a micro-cell in Xe by using RCT model

M. Kurihara, N. Nakano, T. Makabe

[国際会議]  51th Annual Gaseous Electronics Conference, and 4th International Conference on Reactive Plasmas, 

1998年10月

, 

(19-22 October 1998, Maui, USA)

Influence of a low frequency bias voltage on a wafer in inductively coupled plasma

H. Kobayashi, N. Nakano, T. Makabe

[国際会議]  51th Annual Gaseous Electronics Conference, and 4th International Conference on Reactive Plasmas, 

1998年10月

, 

(19-22 October 1998, Maui, USA)

Effect of electron and ion transport on the charge build-up of the microscopic structure in CCP etcher

J. Matsui, N. Nakano, T. Makabe

[国際会議]  51th Annual Gaseous Electronics Conference, and 4th International Conference on Reactive Plasmas, 

1998年10月

, 

(19-22 October 1998, Maui, USA)

Three dimensional Space-resolved optical-emission spectroscopy in an inductively coupled CF4/Ar plasma

H. Hirata, K. Hioki, N. Nakano,Z. Petrovi'c, T. Makabe, S. Matsumura

[国際会議]  51th Annual Gaseous Electronics Conference, and 4th International Conference on Reactive Plasmas, 

1998年10月

, 

(19-22 October 1998, Maui, USA)

Toward Charging Free Plasma Processes: phase space modeling between pulsed plasma and microtrench

Toshiaki Makabe, Jun Matsui, Mari Shibata, Nobuhiko Nakano

[国際会議]  3rd International Symposium on Plasma Process-Induced Damage, 

1998年06月

, 

(4-5 June 1998, Honolulu, USA)

Electron and Ion Transport in a charged micro-trench

Jun Matsui, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  The 193rd meeting of The Electrochemical Society,, 

1998年05月

, 

(3-8 May 1998, San Diego, USA)

Effect of pulse modulated plasma on a charge build-up of the microscopic structure

Jun Matsui, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  SYMPOSIUM on DRY PROCESS, 

1997年11月

, 

(11-13 November 1997, Tokyo, Japan), The Institute of Electrical Engineers of Japan, (1997)85-90

Effect of pulsed plasma in reactive ion etcher

Mari Shibata, Jun Matsui, Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe, and Moritaka Nakamura

[国際会議]  SYMPOSIUM on DRY PROCESS, 

1997年11月

, 

(12-14 November 1997, Tokyo, Japan), The Institute of Electrical Engineers of Japan, (1997)77-82

Modeling of two frequency capacitively-coupled plasma in Ar/CF4 gas mixture

Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe

[国際会議]  SYMPOSIUM on DRY PROCESS, 

1997年11月

, 

(11-13 November 1997, Tokyo, Japan), The Institute of Electrical Engineers of Japan, (1997)223-228

Topographic Charging Model in an rf Capacitively Coupled Plasma by the Boltzmann Equation

Jun Matsui, Nobuhiko Nakano, Mari Shibata, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  American Vacuum Society 44th National Symposium, 

1997年10月

, 

(20-24 Oct 1997, San Jose, USA)

Plasma Characteristics of Two-Frequency-Operated-Plasma in Ar by Two-Dimensional Modeling

Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  50th Annual Gaseous Electronics Conference, 

1997年10月

, 

(6-9 October 1997, Madison, USA)

Nonvolatile Particle Transport from Etched Surface in 2-D CCP Modeling

Masao Hasebe, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  50th Annual Gaseous Electronics Conference, 

1997年10月

, 

(6-9 October 1997, Madison, USA)

Electron Transport in CF4 by using DNP of the Boltzmann equation

Masaru Kurihara, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  50th Annual Gaseous Electronics Conference, 

1997年10月

, 

(6-9 October 1997, Madison, USA)

Two-D Emission profile of parallel plate RF plasma -Effect of driving frequency-

Takeshi Kitajima, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  50th Annual Gaseous Electronics Conference,, 

1997年10月

, 

(6-9 October 1997, Madison, USA)

Electron Transport to a Substrate in an rf Capacitively Coupled Plasma by the Boltzmann Equation

Jun Matsui, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  50th Annual Gaseous Electronics Conference,, 

1997年10月

, 

(6-9 October 1997, Madison, USA)

Two Dimensional Modeling of Ar RF ICP by RCT Model

Katsumi Iyanagi, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  50th Annual Gaseous Electronics Conference, 

1997年10月

, 

(6-9 October 1997, Madison, USA)

Two Dimensional Modeling of Two-Frequency-Operated-Plasma in Ar by Relaxation Continuum Model

Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  American Vacuum Society 44th National Symposium, 

1997年10月

, 

(20-24 Oct 1997, San Jose, USA)

Solving 'Topographic Dependent Charging' by a Pulsed Plasma

Mari Shibata, Jun Matsui, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  American Vacuum Society 44th National Symposium, 

1997年10月

, 

(20-24 Oct 1997, San Jose, USA)

Phase-space modeling of electrons interacting with surface in reactive ion etcher

Toshiaki Makabe, Jun Matsui, and Nobuhiko Nakano

[国際会議]  International symposium on plasma and flow simulation for materials processing, 

1997年07月

, 

(10-12 July 1997, Sendai, Japan)

Two dimensional modeling of a two frequency driven plasma in Ar

Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  International symposium on plasma and flow simulation for materials processing, 

1997年07月

, 

(10-12 July 1997, Sendai, Japan)

Space- and Time- Resolved 3-D Profile of Inductively Coupled Plasma in O2

Masahiro Tadokoro, Nobuhiko Nakano, Zoran Lj. Petrovi'c, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  191st Meeting of The Electrochemical Society, 

1997年05月

, 

(4-9 May 1997, Montreal, Canada)

Electron transport to a substrate in an rf capacitively coupled plasma for etching by the Boltzmann Equation

Toshiaki Makabe, Jun Matsui,Nobuhiko Nakano

[国際会議]  International Workshop on Basic Aspects of Nonequilibrium Plasmas Interacting with Surfaces, 

1997年01月

, 

(26-27 Jan 1997, Shirahama, Japan)

Two dimensional modeling of a capacitively coupled plasma by two frequency operation

Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe, and Masayuki Hachiya

[国際会議]  3rd international conference on reactive plasmas, 

1997年01月

, 

(21-24 Jan 1997, Nara, Japan)

Two dimensional modeling of high density inductively coupled plasma sources in Ar

Katsumi Iyanagi, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  3rd international conference on reactive plasmas, 

1997年01月

, 

(21-24 Jan 1997, Nara, Japan)

A 2D Dust particle distribution in CCP reactor

Ryuichi Hashido, Masao Hasebe, Yoshiyuki Hosokawa, Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe, and Masayuki Hachiya

[国際会議]  3rd international conference on reactive plasmas, 

1997年01月

, 

(21-24 Jan 1997, Nara, Japan)

2D optical emission spectroscopy in 100MHz capacitively couples plasma

Takeshi Kitajima, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  3rd international conference on reactive plasmas, 

1997年01月

, 

(21-24 Jan 1997, Nara, Japan)

Three dimensional optical emission tomography of an inductively couples plasma

Akifumi Okigawa, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  3rd international conference on reactive plasmas, 

1997年01月

, 

(21-24 Jan 1997, Nara, Japan)

'Modeling of narrow gap reactive ion etcher by the relaxation continuum model'

N.Nakano and T.Makabe

[国際会議]  Physics of Ionized Gases, 

1996年12月

, 

口頭発表（招待・特別）

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狭ギャップSF6-RIE のモデリングをRCT モデルからシミュレートし、プラズマ構造と機能、ラジカル分布を論じている。

Influence of magnetic field on the structure in ICP(-Modeling and CT measurement-)

Toshiaki Makabe, Katsumi Iyanagi, Akifumi Okigawa, and Nobuhiko Nakano

[国際会議]  49th Annual Gaseous Electronics Conference, 

1996年10月

, 

(20-24 October 1996, Argonne, USA)

A two dimensional modeling of capacitively coupled plasma reactor

Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  American Vacuum Society 43rd National Symposium, 

1996年10月

, 

(14-18 Oct 1996, Philadelphia, USA)

Robot Assisted Three Dimensional Optical Emission Tomography of Inductively Coupled Plasma

Akifumi Okigawa, Masahiro Tadokoro,Nobuhiko Nakano, Akihiko Itoh , and Toshiaki Makabe

[国際会議]  American Vacuum Society 43rd National Symposium, 

1996年10月

, 

(14-18 Oct 1996, Philadelphia, USA)

A two dimensional modeling of capacitively coupled plasma reactor

Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  49th Annual Gaseous Electronics Conference, 

1996年10月

, 

(20-24 October 1996, Argonne, USA)

Three dimensional optical emission tomography of inductively coupled plasma in Ar

Akifumi Okigawa, Masahiro Tadokoro, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  49th Annual Gaseous Electronics Conference, 

1996年10月

, 

(20-24 October 1996, Argonne, USA)

Comparison of net production rate between 100MHz and 13.56MHz in capacitively coupled plasma in Ar by 2D optical emission spectroscopy

Takeshi Kitajima, Mitsutaka Izawa,Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  18th International Symposium on the Physics of Ionized Gases, 

1996年09月

, 

(2-6 Sep 1996, Kotor, Yugoslavia)

Modeling of narrow gap reactive ion etcher by the relaxation continuum model

Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  18th International Symposium on the Physics of Ionized Gases, 

1996年09月

, 

(2-6 Sep 1996, Kotor, Yugoslavia) Invited Physics of Ionized Gases, (1996)269-278

Diagnostics of non-equilibrium inductively coupled plasmas in Argon

Akifumi Okigawa, Masahiro Tadokoro, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovi'c, and Akihiko Itoh

[国際会議]  18th International Symposium on the Physics of Ionized Gases,, 

1996年09月

, 

(2-6 Sep 1996, Kotor, Yugoslavia)

Time resolved -2D- optical emission spectroscopy in rf capacitively coupled plasma

Takeshi Kitajima, Mitsutaka Izawa,Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  13th European Sectional Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases, 

1996年08月

, 

(27-30 Aug 1996, Poprad, Slovakia)

A two dimensional modeling of parallel plate rf plasma in Ar

Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  13th European Sectional Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases, 

1996年08月

, 

(27-30 Aug 1996, Poprad, Slovakia)

Comparative study of the characteristics between CCP and ICP by 2D-modeling/ diagnostics

Toshiaki Makabe, and Nobuhiko Nakano

[国際会議]  Electrochemical Society Proceedings, 

1996年

2D-Spatiotemporal Structure of ICP Reactor

Kazuhiro Kamimura, Toshiaki Makabe, Nobuhiko Nakano, and Shinji Nakagami

[国際会議]  IEEE International Conference on Plasma Science, 

1995年06月

, 

(5-8 June 1995, Madison, USA)

Modeling of RF Glow Discharges by Direct Numerical Procedure of the Boltzmann Equation

Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  IEEE International Conference on Plasma Science, 

1995年06月

, 

(5-8 June 1995, Madison, USA)

A Spatiotemporal Structure of ICP Reactor in two-dimensional model

Kazuhiro Kamimura, Toshiaki Makabe, Shinji Nakagami, and Nobuhiko Nakano

[国際会議]  187th Meeting of The Electrochemical Society,, 

1995年05月

, 

(21-26 May 1995, Reno, USA)

Modeling of RF glow discharges in O2 by RCT model

Mari Shibata, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  The Third World Congress on Computational Mechanics (1-5 August 1994, Chiba, Japan)International Association for Computational Mechanics, 

1994年08月

Modeling of RF glow discharges by direct numerical procedure of the Boltzmann equation using parallel computer

Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  The Third World Congress on Computational Mechanics (1-5 August 1994, Chiba, Japan)International Association for Computational Mechanics, 

1994年08月

Influence of stepwise ionization in Ar and N2 mixture in RF discharges at 13.56MHz

Fumiyoshi Tochikubo, Zoran Lj. Petrovi'c, Shigeru Kakuta, Nobuhiko Nakano, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  in Proceedings of the International Conference on Reactive Plasmas, 

1994年01月

, 

(19-21 January, Yokohama, Japan)Japan Society of Applied Physics, (1994)207-210

Influence of driving frequency on RF glow discharges in electronegative gases

Nobuhiko Nakano, Zoran Lj. Petrovi'c, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  in Proceedings of the International Conference on Reactive Plasmas, 

1994年01月

, 

(19-21 January, Yokohama, Japan)Japan Society of Applied Physics, (1994)81-84

Modeling of SF6 Narrow-Gap-RIE by RCT model

Nobuhiko Nakano, Naohiko Shimura, Zoran Lj. Petrovi'c, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  in Proceedings of SYMPOSIUM on DRY PROCESS, 

1993年11月

, 

(1-2 November 1993, Tokyo, Japan),The Institute of Electrical Engineers of Japan, (1993)5-10

Modeling of RF Glow discharges in SF6 by RCT Model

Nobuhiko Nakano, Naohiko Shimura, Zoran Lj.Petrovi'c, and Toshiaki Makabe

[国際会議]  45th Annual Gaseous Electronics Conference, 

1992年10月

, 

(22-25 October 1992, Boston, USA)

Modeling and diagnostics of RF glow discharges in Ar

Toshiaki Makabe, Nobuhiko Nakano,Fumiyoshi Tochikubo, and Shigeru Kakuta

[国際会議]  44th Annual Gaseous Electronics Conference, 

1991年10月

, 

(27-30 October 1991, New Mexico, USA)

Numerical Analysis of RF Glow Discharges in HCl by RCT Model

Nobuhiko Nakano, Toshiaki Makabe,Naohiko Shimura

[国際会議]  44th Annual Gaseous Electronics Conference, 

1991年10月

, 

(27-30 October 1991, New Mexico, USA)

Modeling and optical diagnostics of reactive RF glow discharges in CH4 at 13.56MHz

Toshiaki Makabe, Nobuhiko Nakano,Akira Suzuki, Fumiyoshi Tochikubo, and Yukio Yamaguchi

[国際会議]  43rd Annual Gaseous Electronics Conference, 

1990年10月

, 

(October 1990, Champaign-Urbana, Illinois)

Modeling and optical diagnostics of RF glow discharges in CH4 at 13.56MHz

Toshiaki Makabe, Motoo Nishimura, and Nobuhiko Nakano

[国際会議]  Europhysics Sectional Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, 

1990年08月

, 

(August 1990, Orleans)