論文 - 真壁　利明

A series of modeling of plasma etching and damage reduction: -Vertically integrated computer aided design for device precessing-

T. Makabe, J. Matsui, and K. Maeshige

Sci.Technol.of Adv. Materials 2   547-54 2001年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

A comparative study of an unbalanced magnetron with dielectric substrate with a conventional magnetron through the use of hybrid modeling

E. Shidoji, E. Ando, and T. Makabe

Plasma Sources Sci. Technol. 8   621-6 2001年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Predictive study of a plasma structure and function in reactive ion etcher driven by very high frequency: Validity of an extended two-dimensional relaxation continuum model

K. Maeshige, M. Hasebe, Y. Yamaguchi and T. Makabe

J.Appl.Phys. 88   4518-24 2000年10月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Electron transport in argon in crossed electric and magnetic fields

K. Ness and T. Makabe

Phys. Rev. E 62   4083-90 2000年09月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Transport coefficients and scattering cross-sections for plasma modeling in CF4-Ar mixtures: a swarm analysis

M. Kurihara, Z. Lj. Petrovic, and T. Makabe

J.Phys.D 33   2146-53 2000年09月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Functional separation of biasing and sustaining voltages in two-frequency capacitively coupled plasma

K. Kitajima, Y. Takeo, Z. Lj. Petrovic and T. Makabe

Appl.Phys.Let 77   489-91 2000年07月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Diffusin of electronin time- dependent E(t)×B(t) fields

Z. Raspopovic, S. Sakadzic, Z. Lj. Petrovic, and T. Makabe

J.Phys.D 33   1298-1302 2000年06月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Micro-Cell-Plasma driven by high frequency voltage source

M. Kurihara and T. Makabe

J.Plasma and Fusion Research 76   444-8 2000年05月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Diagnostics of an inductively coupled CF4/Ar plasm

K. Hioki, H. Hirata, S. Matsumura, Z. Lj. Petrovic and T. Makabe

J.Vac.Sci.Technol.A, 18   864-72 2000年05月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Simulation of Magnetron Plasma

T. Makabe

J.Vac.Soc.Jpn. 43   767-72 2000年05月

研究論文（学術雑誌）, 単著, 査読有り

Numerical study of effects of frequency in inductively coupled plasma using Particle-in-Cell/Monte Carlo simulation

J-S. Oh and T. Makabe

Jpn.J.Appl.Phys. 39   1358-64 2000年03月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Modeling and diagnostics of two-frequency pulsed ccp and related charging in the microstructure of SiO2 trench

T. Makabe

J.Tech.Phys. 41   345-59 2000年

研究論文（学術雑誌）, 単著, 査読有り

Two-dimesional CT images of two-frequency capacitively coupled plasma

T. Kitajima, Y. Takeo, and T. Makabe

J.Vac.Sci.Technol.A 17   2510-16 1999年11月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Two-dimensional modeling of a micro- cell plasma in Xe driven by high frequency

M. Kurihara and T. Makabe

IEEE Trans.on Plasma Sci. 27   1372-8 1999年10月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Drift velocities of electrons in time varying electric fields

S. Bzenic, Z. Lj. Petrovic, and T. Makabe

Jpn.J.Appl.Phys. 38   6077-83 1999年10月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Prediction of the evolution of the erosion profile in a direct current magnetron discharge

K. Okazawa, E. Shidoji and T. Makabe

J.Appl.Phys. 86   2984-9 1999年09月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Dependence of driving frequency on capacitively coupled plasma in CF4

S. Segawa, M. Kurihara, N. Nakano, and T. Makabe

Jpn.J.Appl.Phys. 38   4416-22 1999年07月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

A numerical study of a collision-dominated inductively coupled plasm using article-in-Cell/Monte Carlo simulation

J-S. Oh and T. Makabe

Jpn.J.Appl.Phys. 38   4423-8 1999年07月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Two-dimensional self-consistent simulation of a DC magnetron discharge

E. Shidoji, H. Ohtake, N. Nakano, and T. Makabe

Jpn.J.Appl.Phys. 38   2131-6 1999年04月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Two dimensional images of radiative and metastable excited state radial profiles for an inductively coupled plasma in argon

H. Hirata, M. Tadokoro, N. Nakano, Z. Lj. Petrovic, and T. Makabe

IEEE Trans. on Plasma Sci.    50-1 1999年03月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り