論文 - 真壁　利明

A study of the sustaining mechanism in an inductively coupled plasma

K.Kondo，H.Kuroda, and T.Makabe

Jpn.J.Appl.Phys. 33   4254-7 1994年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Experimental study of very-high-frequency plasmas in H2 by spatiotemporally resolved optical emission spectroscopy

S.Kakuta，T.Kitajima，Y.Okabe and T.Makabe

Jpn. J. Appl. Phys. 33   4335-9 1994年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Spatiotemporal characteristics determined by a relaxation continuum model of an inductively coupled plasma

K.Kondo，H.Kuroda and T.Makabe

Appl. Phys. Lett. 65   31-3 1994年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

A correlation between particle growth and spatiotemporal RF plasma structure

T.Kamata，S.Kakuta，Y.Yamaguchi and T.Makabe

Plasma Sources Sci.Technol.3    310-13 1994年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Radiofrequency electron swarm transport in reactive gases and plasmas

T. Makabe and K. Maeda

Physica Scripta T53   61-9 1994年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Investigation of the ion ejection mechanisms of gallium liquid metal ion sources

Y. Nakayama and T.Makabe

J.Phys.D 26   1769-75 1993年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Computer simulation of plasma etching (in Japanese)

T.Makabe

Plasma & Fusion Research 69   15-26 1993年

研究論文（学術雑誌）, 単著, 査読有り

RF plasma structures and its production efficiency in the frequency range from HF to VHF.-Computational investigation-.

T. Kitamura, N. Nakano, T.Makabe, and Y. Yamaguchi

Plasma Sources Sci. Technol 2   40-5 1993年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Theoretical analysis of electron velocity distributions and transport coefficients in HCl in a DC electric field.

N. Shimura and T.Makabe

Jpn.J.App.Phys. 32   949-54 1993年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Electron velocity distribution function in a gas in ExB fields.

N. Shimura and T.Makabe

Appl.Phys.Lett. 62   678-80 1993年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Spatiotemporal optical emission spectroscopy of RF discharges in SF6

Z. Petrovic, F. Tochikubo, S. Kakuta, and T.Makabe

J.Appl.Phys. 73   2163-72 1993年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

RF plasma for i-carbon deposition (in Japanese)

T.Makabe

New Diamond 9   14-9 1993年

研究論文（学術雑誌）, 単著, 査読有り

Frequency dependence on the structure of RF glow discharges in Ar.

S. Kakuta, T.Makabe and F. Tochikubo

J.Appl.Phys. 74   4907-14 1993年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Influence of frequency，pressure and mixture ratio of electronegative gas on electrical characteristics of rf discharges in N2 - SF6 mixtures

S. Kakuta, Z. Lj. Petrovic, and T.Makabe

J.Appl.Phys. 74   4923-31 1993年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Modeling of physical etching based on a two-dimensional velocity distributions of ions and fast neutrals by the Boltzmann equation

T. Tokonami and T.Makabe

J. Appl. Phys. 72   3323-9 1992年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Modeling and diagnostics of structure in RF glow discharges in Ar at 13.56 MHz

T.Makabe, N. Nakano, and Y. Yamaguchi

Phys. Rev. A 45   2520-31 1992年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Study of the structure in RF glow discharges in CH4 and H2 by spatiotemporal optical emission spectroscopy

F. Tochikubo, T.Makabe, S. Kakuta, and A. Suzuki

J. Appl. Phys. 71   2143-50 1992年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Structure of velocity distribution functions and transport parameters of electron swarm in CH4 in a DC electric field

N. Shimura and T.Makabe

J. Phys. D. 25   751-60 1992年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Diagnostics of DC-magnetron discharges by emission-selected CT technique

S. Miyake, A. Itoh, N. Shimura, and T.Makabe

J. Vac. Sci. Technol. A    1135-9 1992年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Modeling of reactive non-equilibrium plasmas (in Japanese)

T.Makabe

Oyo Buturi  60   663-73 1992年

研究論文（学術雑誌）, 単著, 査読有り