論文 - 真壁　利明

Two-dimensional modeling of spatiotemporal structure of coupled plasma

K. Kamimura, K. Iyanagi, N. Nakano, and T. Makabe

Jpn.J.Appl.Phys. 38   4429-35 1999年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Pulsed plasmas and related electron energy control for dry etching

T. Makabe and Z.Lj.Petrovic

Physics of Ionized Gases    305-325 1999年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Numerical simulation of the discharge in d.c. magnetron sputtering

E. Shidoji, N. Nakano, and T. Makabe

Thin Solid Films 351   37-41 1999年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Effect of frequency on the two-dimensional structure of capacitively coupled plasma in Ar

T. Kitajima, Y. Takeo, and T. Makabe

Jpn.J.Appl.Phys. 84   5928-36 1998年12月

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Two-dimensional density distribution of metastable atoms in an inductively coupled plasma in Ar

M. Tadokoro, H. Hirata, N. Nakano, Z. Lj. Petrovic and T. Makabe

Phys.Rev.E 58   7823-30 1998年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Time resolved optical emission spectroscopy of an inductively coupled plasma in argon and oxygen

M. Tadokoro, H. Hirata, N. Nakano, Z. Lj. Petrovic, and T.Makabe

Phys.Rev.E 57   R43-6 1998年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Electoron transport to a substrate in a radio frequency capacitively coupled plasma by the Boltzmann equation

J. Matsui, M. Shibata, N. Nakano, and T.Makabe

J.Vac.Sci.Technol.A 16   294-9 1998年

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Phasespace modelling of a radiofrequency plasma interacting with surfaces

T.Makabe, J.Matsui, and N.Nakano

Pure & Appl.Chem. 70   1187-91 1998年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

A novel sustaining mechanism in capacitively coupled radio frequency plasma in oxygen.

M. Shibata, T.Makabe, and N. Nakano

Jpn.J.Appl.Phys. 37   4182-5 1998年

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Nonequilibrium plasmas for material processing in microelectronics

Z.Lj.Petrovic, and T.Makabe

Advanced Materials and Processes 282/3   47-56 1998年

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Diagnostics of an inductively coupled plasma in oxygen

M. Tadokoro, A. Itoh, N. Nakano, Z. Lj. Petrovic, and T. Makabe

IEEE Trans. on Plasma Sci. 26   1724-32 1998年

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Charged particle transport in harmonically varying electric fields:Foundations and Phenomenology

R.E.Robson and T.Makabe

Annals of Physics 261   74-113 1997年

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The effect of laser-induced photo-detachment in O_2_ RF discharges

M.Shibata，N.Nakano and T.Makabe

J. Phys. D 30   1219-24 1997年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

The time resolved two-dimensional profile of a radiofrequency capacitively coupled plasma

T.Kitajima，M.Izawa，N.Nakano，and T.Makabe

J. Phys. D 30   1783-9 1997年

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Diffusion tensor in electron transport in gases in a radio-frequency field

K.Maeda，T.Makabe，N.Nakano，S.Bzenic，and Z.Lj.Petrovic

Phys. Rev. E 55   5901-08 1997年

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Two dimensional transport of submicron particles in CCP reactor

R. Hashido, M. Hasebe, Y. Hosokawa, N. Nakano, Y. Yamaguchi, and T.Makabe

Jpn. J. Appl. Phys. 36   3707-13 1997年

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Three dimensional optical emission tomography of an inductively coupled plasma

A.Okigawa, M.Tadokoro, A.Itoh, N.Nakano, Z.Lj.Ptorovic, and T.Makabe

Jpn. J. Appl. Phys. 36   3707-3713 1997年

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Comparative study of the characteristics between CCP and ICP by 2D-modeling / diagnostics

T. Makabe and N. Nakano

Elec.Chem.Soc.Proc. 96-12   1-10 1996年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り

Tomographic images of a plasma structure and sputtered particle in a DC magnetron discharge

A.Itoh，T.Makabe， N.Shimura，and S.Tougo

IEEE Trans. on Plasma Sci. 24   109-10 1996年

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Robot assisted opotical emission tomography in an inductively coupled plasma reactor

A.Okigawa，T.Makabe，T.Shibagaki，N.Nakano， Z.Lj.Petrovic，T.Kogawa，and A.Itoh

Jpn.J.Appl.Phys. 35   1890-3 1996年

研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り