論文 - 真壁 利明
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Phase transition in DC Discharges in SiH4
Y. Yamaguchi and T.Makabe
Jpn. J.Appl. Phys. 31 L1291-4 1992年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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Absolute measurement of the excitation rate and density of the excited species in an RF discharge from the optical emission spectroscopy
F. Tochikubo and T.Makabe
Meas. Sci. Technol. 2 1133-7 1991年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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Periodic behavior of electron swarm parameters in Ar in an RF Field.
I. Yamanashi, N. Goto, and T.Makabe
Trans. IEEE of Japan 111-A 168-74 1991年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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Electron swarm in a gas discharge (in Japanese)
H. Tagashira and T.Makabe
Trans. IEE of Japan 111-A 131-8 1991年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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Recent progress in microscopic modeling of an RF plasma CVD
T.Makabe
Proc.13th Symp. Ion Sources & Ion-Assisted Technol. 193-202 1990年
研究論文（国際会議プロシーディングス）, 単著, 査読有り
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Diagnostics of high-frequency discharges in CH4 / H2 by time-and space-resolved optical emission spectroscopy
T.Kokubo, F.Tochikubo, and T.Makabe
Appl. Phys. Lett. 56 818-20 1990年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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同心円筒形DCグロー放電によるa-Si:H成膜時の基板加熱の解析
Y. Yamaguchi, S. Imano, K. Matsumura, and T.Makabe
Kagaku Kougaku Ronbunshu 16 605-13 1990年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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Time-dependent electron swarm parameters in RF fields in CH4 and H2
N. Goto and T.Makabe
J. Phys. D 23 686-93 1990年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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Investigation of the high frequency glow discharges in Ar at 13.56 MHz by spatiotemporal optical emission spectroscopy
F. Tochikubo, S. Kakuta, A. Suzuki, and T.Makabe
J. Phys. D 23 1184-92 1990年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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Influence of negative ions in RF glow discharges in SiH4 at 13.56 MHz
T.Makabe, F. Tochikubo, and N. Nishimura
Phys. Rev. A 42 3674-7 1990年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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Study of the structure in RF glow discharges in SiH4 by spatiotemporal optical emission spectroscopy.-Influence of negative ions-
F. Tochikubo, A. Suzuki, S. Kakuta, Y. Terazono, and T.Makabe
J.Appl.Phys. 68 5532-9 1990年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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Electron kineties in RF Discharges (in Nonequilibrium processes in partially ionized gases)
T.Makabe
NATO ASI.Ser.B 220 467-77 1990年
研究論文（国際会議プロシーディングス）, 単著, 査読有り
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Diagnostics of low frequency CH4+H2 discharge by optical emission spectroscopy
T.Kokubo, F.Tochikubo, and T.Makabe
J. Phys. D 22 1281-7 1989年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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A modeling of amorphous silicon deposition in silane dc-glow dicharges
Y. Yamaguchi, A. Sumiyama, R. Hattori, Y. Morokuma, and T.Makabe
J. Phys. D 22 505-11 1989年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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Modeling of an RF glow discharge plasma
K. Okazaki, T.Makabe, and Y. Yamaguchi
Appl. Phys. Lett. 54 1742-4 1989年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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Recent theoretical advances in modeling of low pressure processing plasma
T.Makabe
Proc. Jpn. Symp. Plasma Chemistry 1 1-10 1988年
研究論文（学術雑誌）, 単著, 査読有り
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Time-behaviour of electron transport in radio-frequency fields in gases
T.Makabe and N.Goto
J. Phys. D 21 887-95 1988年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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Time-and space-resolved spectroscopy of elecron transport in low-freguency discharge plasma in argon.
T.Makabe and M.Nakaya
J.Phys.D 20 1243-9 1987年
研究論文（学術雑誌）, 共著, 査読有り
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Influence of the finite mass-ratio on the charged-particle transport in gases.
T.Makabe
J. Phys. Soc. Japan 55 2496-9 1986年
研究論文（学術雑誌）, 単著, 査読有り
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Energy distributions of alkali ions in rare gases.
T.Makabe
Physics of Ionized Gases 153-6 1986年
研究論文（学術雑誌）, 単著, 査読有り